Angstrom Engineering | Votre partenaire pour les films minces

UN ÉQUIPEMENT POUR LA FABRICATION DE COUCHES MINCES FACILE À UTILISER POUR AIDER LES LABORATOIRES PIONNIERS À CRÉER LE FUTUR.

Angstrom Engineering propose des équipements sous vide fiables, notamment des systèmes de dépôt physique en phase vapeur (PVD), des instruments de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et des chambres de simulation environnementale et spatiale. Ces systèmes sont bien pensés, faciles à utiliser et notre équipe compétente et talentueuse est là pour vous guider. Pour les projects de recherche et de développement nécessitant la technologie en couches minces, un système de dépôt Angstrom vous permettra, à vous et votre équipe, de vous concentrer sur votre projet sans vous soucier de votre équipement.

PROCÉDÉS DE FILMS MINCES

PULVÉRISATION MAGNETRON

Nous travaillons avec tous les types de techniques de pulvérisation magnétron actuellement disponibles, notamment RF, DC, DC pulsé, HIPIMS, linéaire à grande surface, gaz réactif et pulvérisation magnetron pour limiter les dégâts. Nous avons construit des centaines de systèmes.

EVAPORATION THERMIQUE

La technique classique de dépôt physique en phase vapeur par évaporation thermique est encore utilisée par de nombreux chercheurs pour produire des films reproductibles pour contacts, pour des films de métal pur et pour des matériaux exotiques. L’évaporation thermique est disponible sur chacune de nos platesformes et peut facilement être intégrée dans diverses configurations dans nos systèmes.

UN FAISCEAU D’ÉLECTRONS

Lorsque des taux élevés de dépôt et des films purs sont requis, une source de faisceaux d’électrons peut être utilisée. Le faisceaux d’électrons peut également être utile pour certains types de matériaux, comme ceux nécessitant des températures plus élevées. L’ajout d’une pression partielle de gaz réactif, tel que de l’oxygène ou de l’azote, dans la chambre pendant l’évaporation peut être utilisé pour déposer de manière réactive des films non métalliques.

TRAITEMENT DE FAISCEAU D’IONS

Nombre de nos partenaires tirent parti de l’utilisation d’une source de faisceau ionique avec leurs systèmes. Ces sources ajoutent de l’énergie au flux de dépôt, aidant ainsi les atomes à s’organiser afin de produire des films plus denses et plus purs. Une source d’ions peut également préparer un substrat avant le dépôt, ainsi qu’à graver un film existant en utilisant des techniques de masquage d’ombres.

Automatisation

Aeres est le logiciel de contrôle de processus avancé d’Angstrom. Il fournit le cerveau à nos systèmes de dépôt et a été construit en utilisant une interface utilisateur moderne spécialement conçue pour les utilisateurs et les laboratoires de couches minces les plus exigeants d’aujourd’hui. Cette plateforme logicielle basée sur des recettes permet de contrôler/définir tous les paramètres, permettant à l’utilisateur de se concentrer sur son travail innovant. Les tâches sont traitées en parallèle, ce qui réduit considérablement le temps total de fabrication des dispositifs, ce qui se traduit par un cadence et une productivité plus élevées. Des fonctionnalités automatisées supplémentaires, telles que: plusieurs cassettes de substrats et de masques dans des chambres de chargement in situ, transfert automatique robotisé et l’intégration de cluster, peuvent être mises en œuvre sur votre système.

Interface Utilisateur Moderne

Multi-substrats/Cassette de Masques

Transfert Robotisé

Intégration en Cluster

FIXATION DU SUBSTRAT

Il existe tout un monde de technologies pouvant ajouter des fonctionnalités à votre système de dépôt de couches minces. Certains influent sur les propriétés des couches minces telles que l’adhésion, la densité et la pureté, tandis que d’autres augmentent l’efficacité et le rendement. Avec plus de 600 systèmes utilisés dans le monde entier, nous possédons une vaste expérience dans chacun de ces domaines.

Obturateur à Double Lame

Inclinaison et Rotation du Substrat

Polarisation du Substrat

“Roll to Roll”

Substrats Chauffés et Refroidis

Applications

JOSEPHSON JUNCTIONS

La fabrication de bits quantiques nécessite la concomitance de plusieurs éléments clés, tels que des substrats inclinés, des sources de faisceaux d’électrons et une gestion précise du flux de gaz pour la couche d’oxydation. Les systèmes Angstrom de la Série Quantum répondent à chaqu’une de ces exigences sur une seule et même plate-forme de dépôt facile à utiliser. Nos partenaires utilisant la Série Quantum fabriquent des bits quantiques fiables qui respectent et dépassent les normes établies dans ce domaine passionnant.

DÉPÔT PAR PULVÉRISATION DE FAISCEAU IONIQUE

Les films optiques nécessitent une pureté et une densité que seul le dépôt par pulvérisation ionique (IBSD) peut fournir. La plateforme Reticle d’Angstrom est équipée de la technologie de traitement permettant de produire les meilleurs films, ainsi que d’une surveillance optique in-situ ou d’une ellipsométrie spectroscopique afin de fournir une précision ultime, même pour les revêtements optiques les plus complexes.

Perovskites 

Les propriétés volatiles uniques des perovskites nécessitent une stratégie de vaporisation spécifique, et les Séries Perovskite d’Angstrom vous fourniront l’ensemble des fonctionnalités qui vous aideront à réussir dans ce domaine. Le refroidissement de la chambre et de la source, les pompes appropriées et les chambres en acier, ainsi qu’un ensemble personnalisable de fonctionnalités spécifiques à votre travail, vous fourniront les outils nécessaires, en un seul système, pour faire des progrès significatifs.

BATTERIES À FILMS MINCES

Nombre de nos partenaires s’efforcent à concrétiser le potentiel des batteries à couches minces et utilisent les dispositifs d’Angstrom pour deposer du lithium et créer les architectures souhaitées. Les matériaux cathodiques sont souvent des oxydes de lithium complexes, tels que LiCoO2, LiMn2O4 et LiFePO4. Les matériaux anodiques sont généralement constitués de matériaux à base de carbone, tels que le graphite, ou du Li élémentaire, ainsi que d’autres matériaux métalliques. Contactez-nous maintenant pour en savoir plus sur la manière dont nous pouvons vous aider dans votre travail sur les batteries à couches minces.

DISPOSITIFS ET MATÉRIAUX OLED

Les équipes de développement d’appareils et de matériaux OLED leaders dans le monde font confiance à Angstrom Engineering pour leur matériel et leur instrumentation. Nous avons beaucoup d’expérience dans la création et la mise en œuvre de stratégies de dépôt pour les projets les plus exigeants.

Bumps D’INDIUM

Les bump bonds en indium constituent un nouveau moyen de fabriquer des dispositifs à puce retournée tridimensionnels destinés à être utilisés en électronique quantique supraconductrice. Ces dispositifs sont aisément fabriqués à l’aide des systèmes de dépôt physique en phase vapeur d’Angstrom Engineering.

TÉMOIGNAGES

Depuis sa livraison, ce système de laboratoire a fonctionné presque sans faille, ce qui a permis d’étendre nos capacités bien au-delà de celles actuellement disponibles dans quelques laboratoires de films minces organiques du monde que ce soit. J’attribue le succès de l’ensemble de ce système à l’excellence de l’ingénierie ainsi qu’à la nature coopérative de l’équipe Angstrom, qui a su prendre ses meilleures conceptions et les améliorer au cours du processus de construction du système.

Dr. Stephen Forrest – Université du Michigan, USA

La conception EvoVac est fantastique et le port de la boîte à gants est facile à utiliser. L’année dernière, il a été utilisé 2269 heures, soit en moyenne 6 heures par jour, tous les jours de l’année. Il s’agit de l’équipement le plus utilisé dans nos installations et est essentiel à de nombreux projets de recherche. En tant que tel, il est essentiel de minimiser les temps d’arrêt. Le support fourni par Angstrom Engineering pour les problèmes de service est exceptionnel et sans égal. Mon travail serait beaucoup plus facile si je pouvais recevoir l’assistance clientèle qu’Angstrom propose pour les autres instruments de notre établissement.

Dr. Ina Martin – Université Case Western, USA

Les deux systèmes de dépôt que nous avons achetés d’ Angstrom Engineering (EvoVac et NexDep) sont largement utilisés par 300 utilisateurs dans notre laboratoire de salle blanche dans divers projets de recherche et applications. Les systèmes sont des «chevaux de trait», extrêmement fiables et conviviaux. Travailler avec Angstrom Engineering a été un plaisir pour moi et mon personnel et nous sommes très heureux d’avoir choisi d’acheter nos systèmes de dépôt auprès de votre société.

Dr. Nava Ariel-Sternberg – Directeur des installations de la Nano Initiative de Columbia – Université de Columbia, USA