Angstrom Engineering | Ihr Ansprechpartner rund um das Thema Dünnfilm

DÜNNFILMVERFAHREN

Magnetron Sputtering

Wir verwenden alle derzeit verfügbaren Magnetron-Sputter-Techniken, einschließlich HF-, DC-, DC-gepulste, HIPIMS-, großflächige lineare, reaktive Gase und Target-Sputtern mit geringer Schädigung/ Belichtung. Wir haben bereits hunderte von Systemen gebaut.

THERMISCHE VERDAMPFUNG

Die klassische physikalische Gasphasenabscheidungstechnik, die thermische Verdampfung, wird immer noch von vielen Forschern verwendet, um wiederverwendbare Kontaktfilme, reine Metallfilme und andere nicht-herkömmliche Materialien herzustellen. Jede unserer Plattformen bietet die thermische Verdampfung als Feature und kann problemlos in eine Vielzahl von Systemkonfigurationen integriert werden.

ELEKTRONENSTRAHL

Wenn hohe Raten und reine Filme erforderlich sind, kann eine Elektronenstrahlquelle verwendet werden. Elektronenstrahlen können für unterschiedliche Arten von Materialien nützlich sein, z. B. wenn höhere Temperaturen gefragt sind. Durch das Hinzufügen eines Partialdrucks eines reaktiven Gases wie Sauerstoff oder Stickstoff zu der Kammer während des Verdampfens, können nichtmetallische Filme reaktiv gespalten werden.

Ionenstrahlverarbeitung

Viele unserer Partner profitieren von der Verwendung von Ionenstrahlquellen in ihren Systemen. Diese Quellen fügen dem Abscheidungsfluss Energie hinzu und unterstützen so die Atome, mit dem Ergebnis das die Filme dichter und reiner sind. Ionenquellen können auch verwendet werden, um ein Substrat vor der Abscheidung aufzubereiten oder einen vorhandenen Film, unter Verwendung von Schattenmaskierungstechniken, zu ätzen.

Automatisierung

Aeres ist Angstroms fortschrittliche Prozesssteuerungssoftware. Sie ist sozusagen das Gehirn unserer Abscheidungssysteme und wird unter Verwendung einer modernen Benutzeroberfläche speziell für die anspruchsvollsten Dünnschichtbenutzer und Labore von heute entwickelt. Diese rezeptbasierte Softwareplattform steuert jeden Prozess im System und gibt dem Benutzer die Möglichkeit, sich auf seine innovative Arbeit zu konzentrieren. Die Aufgaben werden parallel abgewickelt, wodurch die Gesamtfertigungszeiten erheblich verkürzt werden und sich ein höhere Produktivität ergibt. Zusätzliche automatisierte Funktionen, wie mehrere Substrate und Maskenkassetten in in-situ-Ladeschleusenkammern, automatischer Robotertransfer und Cluster-Integration, können in Ihrem System implementiert werden.

moderne Benutzeroberfläche

Multisubstrat/Maskenkassette

Robotertransfer

Cluster-Integration

UNTERGRUNDBEFESTIGUNG

Die Spanne an Erweiterungen, mit denen Sie Ihr Dünnschicht-Abscheidungssystem aufrüsten können, ist schier unendlich. Es gibt sowohl Features mit Fokus auf Dünnfilmeigenschaften wie Haftung, Dichte und Reinheit, wie auch Erweiterungen, die die Effizienz und den Durchsatz steigern. Mit über 600 Systemen auf der ganzen Welt verfügen wir über umfassende Erfahrung.

Doppelblatt-Abdeckklappe

Neigung und Drehung des Substrats

Substratvorspannung

Die Rollen

beheizte und gekühlte Substrate

ANWENDUNGSMÖGLICHKEITEN

Josephson Junctions

Die Herstellung von Quantenbits erfordert mehrere Prozesselemente, wie z. B. kippbare Substrate, Elektronenstrahlquellen und ein präzises Gasflusssystem für die Oxidationsschicht. Angstroms Quantum-Series-Systeme erfüllen alle Anforderungen auf einer einzigen, benutzerfreundlichen Abscheidungsplattform. Unsere Partner, die mit Quantum Series arbeiten, stellen exzellente Quantenbits her, die in diesem spannenden Feld die Messlatte sogar hochsetzen.

Ionenstrahl-Sputter-Lager

Den Grad an Reinheit und Dichte, den optische Filme benötigen, kann nur durch Ionenstrahl-Sputter-Lager (IBSD) erreicht werden. Die Reticle-Plattform von Angstrom besitzt die nötige Prozesstechnologie, um solche hochwertigen Filme zu produzieren. Sie ist entweder mit einem integrierten optischen Monitoring-Feature oder mit einer spektroskopischen Ellipsometrie ausgestattet, um die komplexesten optischen Beschichtungen mit höchster Präzision herzustellen.

Perovskites 

Die einzigartigen, volatilen Eigenschaften von Perovskite benötigen in Bezug auf das Verdampfen eine besondere Herangehensweise. Die Systeme der Perovskite-Serie von Angstrom bieten den nötigen Funktionsumfang, um in diesem Gebiet erfolgreich arbeiten zu können. Das Werkzeug bieteta Ihnen Kammer- und Quellenkühlung, die idealen Pumpen und Stahlkammern sowie eine Reihe anpassbarer, auf Ihre Arbeit zugeschnittener Funktionen.

DÜNNSCHICHT-BATTERIEN

Viele unserer Partner möchten das Potenzial von Dünnschichtbatterien ausschöpfen und verwenden daher Angstroms Lithium-Dünnschicht-Batterien Prozesse. Kathodenstoffe sind in der Regel komplexe Lithiumoxide wie LiCoO₂, LiMn₂O₄ und LiFePO₄. Anodenstoffe bestehen typischerweise aus Materialien auf Kohlenstoffbasis wie Graphit, Li-Metall oder anderen metallischen Materialien. Kontaktieren Sie uns jetzt, um mehr darüber zu erfahren, wie wir Sie mit Dünnschichtbatterien bei der Arbeit unterstützen können.

OLED-GERÄTE & MATERIALIEN

Wenn es um OLED-Geräte und -Materialien geht verlassen sich die weltweit führenden Entwicklungsteams bei ihrer Hardware und Instrumentierung auf Angstrom Engineering. Wir greifen auf einen reichen Erfahrungsschatz zurück in der Entwicklung von Abscheidungstechniken für die anspruchsvollsten Projekte.

INDIUM-HÜGEL

Mit Indium-Hügel können nun für die supraleitende Quantenelektronik ganz einfach dreidimensionale Flip-Chip-Bauelemente hergestellt werden. Diese Geräte werden einfach mit den physischen Verdampfungssystemen von Angstrom Engineering hergestellt.

REFERENZEN